Pregled proizvoda
Mete za raspršivanje od čistog titana proizvode se od vakuum{0}}otopljenih ingota titana (1. stupanj, 2. stupanj i visoka-čistoća 3N5 do 5N) strogom termo-mehaničkom obradom, uključujući više-smjerno kovanje, precizno valjanje i kontrolirano žarenje. Dizajnirane za magnetronsko raspršivanje i HIPIMS sustave, ove mete daju stabilne stope taloženja, potiskuju stvaranje kvržica i nisko stvaranje čestica u kontinuiranim proizvodnim linijama tankog{10}}sloja.
Tehničke specifikacije
Stupnjevi čistoće:ASTM stupanj 1 (TA1), ASTM stupanj 2 (TA2), visoka čistoća (99,95% do 99,999%)
Gustoća:>= 4.51 g/cm3 (Measured via Archimedes method, achieving >99,5% teorijske gustoće)
Veličina zrna:Prosječna veličina zrna < 100 um s ujednačenom, jednakoosnom mikrostrukturom preko cijele staze erozije (testirano prema ASTM E112)
Intersticijske nečistoće (tipično):
- Kisik (O): < 0,08% (1. stupanj) / < 0,002% (visoka čistoća)
- Željezo (Fe), ugljik (C), dušik (N), vodik (H) kontrolirano unutar strogih ASTM/SEMI ograničenja
Dimenzije i geometrije:
- Planarno: Duljina do 3000 mm, debljina 3 mm - 20 mm
- Rotirajući: vanjski promjeri do 180 mm, duljine do 3500 mm
- Podložne ploče: bakar -bez kisika (OFC), aluminijska legura ili titan
- Površinska obrada: Ra < 0,8 um, kiselinom-očišćeno, osušeno i-vakuumirano zatvoreno
Ključne značajke
Fino{0}}zrnasta mikrostruktura jednake osi:Kontrolirano više{0}}prolazno toplo/hladno valjanje i rekristalizacijsko žarenje eliminiraju zone grubih zrna, sprječavajući lokalizirano pregrijavanje cilja i nepravilne profile erozije.
Nizak sadržaj intersticijalnog plina:Obrađen vakuumskim indukcijskim taljenjem (VIM) ili vakuumskim lučnim taljenjem (VAR) kako bi se smanjili zaostali plinoviti elementi, učinkovito potiskujući mikro-luk i naprezanje filma.
Visoka toplinska stabilnost:Održava strukturni integritet pod visokim-gustoćama snage tijekom pulsirajućeg istosmjernog ili-impulsnog magnetronskog raspršivanja velike-snage (HIPIMS).
Pouzdano toplinsko sučelje:Omjer šupljina za lijepljenje održava se ispod 1% na cijelom području sučelja, potvrđeno ultrazvučnim ne-destruktivnim ispitivanjem.
Prijave
Poluvodič i mikroelektronika:Zaporni slojevi, ljepljivi slojevi i početni slojevi za integrirane sklopove, uređaje za napajanje i MEMS.
Optički premazi:Anti{0}}premazi (AR), filtri optičkih smetnji i pomoćni slojevi prozirnog vodljivog oksida (TCO).
Tehnologija ravnih ploča i zaslona:Tanko{0}}zasloni s tekućim kristalima tranzistora (TFT-LCD) i metalizacija OLED elektrode.
Dekorativni i PVD{0}}otporan na habanje:Čvrsti, izdržljivi funkcionalni završni slojevi na arhitektonskom staklu, automobilskim ukrasima i hardveru.
Prilagodba i proizvodnja
Lanac-kućne obrade:Potpuna kontrola proizvodnje od lomljenja sirovog ingota, vakuumskog taljenja i toplinskog kovanja do CNC strojne obrade i linija za spajanje.
Geometrijsko krojenje:Strojna obrada prilagođenih profila, kosih rubova, posebnih kanala za hlađenje i složenih konfiguracija montaže na temelju specifičnih nacrta PVD komora.
Tehnologija lijepljenja:Spajanje indija, spajanje elastomera i difuzijsko spajanje prilagođeno koeficijentima toplinske ekspanzije mete-na-potpornu ploču.
Fleksibilnost kapaciteta:Serijska proizvodnja strukturirana za obradu pojedinačnih prototipova za istraživanje i razvoj do više{0}}tonskih kontinuiranih proizvodnih kampanja.
Kontrola kvalitete i certifikati
Kontrola serije sljedivog materijala:Svaka meta može se pratiti do svoje izvorne vakuum-otopljene serije ingota, zajedno s zapisima taljenja i zapisima o termičkoj obradi.
Standardi analitičkog ispitivanja:
Metalne nečistoće analizirane putem ICP-MS (Induktivno spregnuta plazma masena spektrometrija) prema ASTM standardima.
Plinske nečistoće (O, N, H, C) provjerene pomoću LECO analizatora fuzije inertnog plina.
Ne-destruktivna i dimenzionalna inspekcija:Ultrazvučno C-skeniranje za ispitivanje cjelovitosti lijepljenja; Koordinatni mjerni strojevi (CMM) za strogu provjeru tolerancije dimenzija i ravnosti.
Sukladnost i dokumentacija:Proizvedeno prema ISO 9001 certificiranom sustavu upravljanja kvalitetom. Svaka pošiljka uključuje-specifičnu seriju Certifikat analize (CoA) i izvješće o NDT ispitivanju.
Pakiranje i dostava
Pakiranje čiste sobe:Očišćeno u kontroliranom okruženju, vakuumirano-zatvoreno u teške-antistatičke polietilenske vrećice s punjenjem od inertnog plina argona i obloženo -pjenom koja apsorbira udarce.
Zaštita u transportu:Zapakirani u drvene sanduke za-bez fumigacije opremljene indikatorima za praćenje udara i nagiba na zahtjev.
Vrijeme isporuke:2 tjedna za standardne kataloške dimenzije; 3 do 4 tjedna za prilagođene-strojno obrađene ili spojene sklopove.
FAQ
P: Koji se specifični standard koristi za mjerenje i kontrolu veličine zrna?
O: Veličina zrna se procjenjuje i provjerava u skladu sa standardima ASTM E112, održavajući prosječnu veličinu zrna ispod 100 um kako bi se osigurale jednolike stope raspršivanja.
P: Kako se kvaliteta spajanja ciljne-na-ploču potpore provjerava prije otpreme?
O: Svaki spojeni sklop podvrgava se ultrazvučnom C-skeniranju bez-destruktivnog testiranja kako bi se osiguralo da se omjer praznina međusklopa strogo održava ispod 1%, sprječavajući lokalizirano pregrijavanje tijekom rada velike-napone.
P: Mogu li se izvješća o ispitivanju nečistoća pratiti do određenih serija taline?
O: Da. Svaka pošiljka uključuje-specifičnu potvrdu analize (CoA) koja pruža stvarne podatke ICP-MS i LECO plinske analize koji se mogu pratiti izravno do matične serije vakuum-otopljenog ingota.
P: Koje su mjere poduzete da se smanji stvaranje čestica i pljuvanje?
O: Vakuumsko taljenje smanjuje isparljive inkluzije u tragovima, dok optimizirani termo-mehanički rasporedi valjanja eliminiraju mikro-poroznost, izravno smanjujući stvaranje kvržica i rasipanje čestica tijekom premazivanja.
P: Možete li proizvesti mete koje odgovaraju ne-standardnom ili naslijeđenom dizajnu PVD komore?
O: Da. Ciljevi mogu biti precizno-izrađeni prema korisničkim CAD crtežima ili specifikacijama, prilagođavajući se jedinstvenim rasporedima kanala za hlađenje, rupama za pričvršćivanje i profilima rubova.
P: Koji je standardni protokol pakiranja za-poluvodičke mete visoke čistoće?
O: Mete su očišćene, vakuum-zatvorene u polietilenske vrećice-klase čistih prostorija s plinom argonom i zaštićene prilagođenom pjenom za-amortizaciju udara unutar ojačanih drvenih kutija-klase izvoza.
Zatražite ponudu
Navedite svoj stupanj čistoće (99,9% - 99.999%), dimenzije, količinu, specifikacije podložne ploče i ciljni model komore kako biste dobili tehnički prijedlog i komercijalnu ponudu u roku od 24 sata.
Popularni tagovi: mete za prskanje od čistog titana, Kina mete za prskanje od čistog titana proizvođači, dobavljači, tvornica